Производство чистого гексафторида вольфрама откроют в Подольске
:format(webp)/YXJ0aWNsZXMvaW1hZ2UvMjAyNS83L2FydGljbGVzaW1hZ2UyMDI1N3Bob3RvLTIwMjUtMDctMjgtMTYtMzQtMTEtN3lyZmtoYy5qcGc.webp?w=1920)
Новую технологию и оборудование для производства особо чистого химического соединения гексафторида вольфрама разработали для использования в микроэлектронике и металлургии. Теперь строят новый участок для его производства по программе импортозамещения и создания технологической независимости.
Гексафторид вольфрама нужен при производстве полупроводников. Он применяется для получения покрытий и изделий из высокочистого вольфрама методами газофазной металлургии. В настоящее время страна не может обходиться без зарубежных поставок этого важного химического вещества.
Разработку провели специалисты научно-исследовательского института «Луч». Цель проекта — наладить собственное производство и снизить зависимость от зарубежных поставок.
В создании технологии и оборудования участвовали ученые и инженеры из Нижегородского и Томского госуниверситетов, Института химии высокочистых веществ РАН, а также специалисты компании «Ферри Ватт». Совместно они разработали и собрали уникальные установки для очистки гексафторида, а также подготовили методики для точного измерения его состава.